多频激光干涉轮廓仪

米森科技新研发的多频干涉仪采用鉴相技术，可最大程度的消除机械式移动扫描带来的固有误差，并通过温度、湿度、气压环境变量补偿技术，使设备达到真皮米级绝对距离和精密瞬态速度的测量。

本技术特别适合于量子级联激光器、半导体激光器、集成光学制造、超导电子器件的研发设计和自动化质量监控。