多频激光干涉轮廓仪

米森科技新研发的多频干涉仪采用鉴相技术，可最大程度的消除机械式移动扫描带来的固有误差，并通过温度、湿度、气压环境变量补偿技术，使设备达到真皮米级绝对距离和精密瞬态速度的测量。

本技术特别适合于量子级联激光器、半导体激光器、集成光学制造、超导电子器件的研发设计和自动化质量监控。

多频激光干涉仪的主要技术指标如下：

工作波长：1542±30nm（632.991nm可选）

最大绝对距离精度(Peak-to-valley): ±6pm (真空恒温条件下)

最大分辨率(Peak-to-valley): 2pm

波前重复精度(RMS): < 0.1 nm

最大测量直径：Up to 200mm